Pressure and temperature dependence of silicon doping of GaAs using Si2H6 in metalorganic chemical vapour deposition

نویسندگان

  • P. R. Hageman
  • L. J. Giling
چکیده

برای دانلود رایگان متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

ثبت نام

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

High-quality InP nanoneedles grown on silicon

Articles you may be interested in High-quality 1.3 m-wavelength GaInAsN/GaAs quantum wells grown by metalorganic vapor phase epitaxy on vicinal substrates Appl. Relaxed, high-quality InP on GaAs by using InGaAs and InGaP graded buffers to avoid phase separation High-detectivity InAs quantum-dot infrared photodetectors grown on InP by metal–organic chemical–vapor deposition Appl. High detectivit...

متن کامل

Si-DOPING OF MOCVD GaAs: CLOSER ANALYSIS OF THE INCORPORATION PROCESS

Doping studies have been carried out as a function of silane input fraction over the entire dopant range of silicon in GaAs. In the lower dopant region where the incorporation varies linearly with the silane input mole fraction, the compensation ratio N~/N~ appears to have a constant value of 0.3. In this region the incorporation also is orientation dependent. For SiH 4 input mole fractions hig...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

عنوان ژورنال:

دوره   شماره 

صفحات  -

تاریخ انتشار 2017